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uKSA系列超高精密电动平移台

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uKSA系列超高精密电动平移台,按照行程分为50、100、150、200mm 等四款产品,是卓立汉光开发的新型电移台,该系列电移台技术指标达到国际水平。如:闭环分辨率0.1μm,每100mm 行程,直线度、平直度小于6μm。该系列产品配合卓立的MC6003P 或TMC-USB 系列控制器,定位于超高精度要求的领域应用,如:超精密的激光加工、超精密的三维扫描测量等。

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uKSA系列超高精密电动平移台,按照行程分为50、100、150、200mm 等四款产品,是卓立汉光开发的新型电移台,该系列电移台技术指标达到国际水平。如:闭环分辨率0.1μm,每100mm 行程,直线度、平直度小于6μm。该系列产品配合卓立的MC6003P 或TMC-USB 系列控制器,定位于超高精度要求的领域应用,如:超精密的激光加工、超精密的三维扫描测量等。

uKSA系列超高精密电动平移台特点:

1.加厚铝合金底座,基准面精密磨削,保证整体性能稳定

2.内置进口超高精密光栅尺,闭环分辨率可达0.1μm

3.采用进口超高等级滚珠丝杠,可实现超高定位精度

4.采用进口超高等级交叉滚柱导轨,具有超高运动性能

5.标配三相步进电机,有效降低电移台运行时的振动和噪音

选型表

型号

uKSA50

uKSA100

uKSA150

uKSA200

行程(mm)

50

100

150

200

滚珠丝杠导程(mm)

4

电机型号

FHB366-D(三相)

闭环分辨率(μm)

0.1

zui大速度(mm/s)

40

重复定位精度(μm)

<2

回程间隙(μm)

<1

运动直线度(μm)

<6

<10

运动平直度(μm)

<6

<10

自重(Kg)

8.5

10.5

13.5

15

中心负载(Kg)

30

 

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